Point spread function of photolithography relay system of mid-spatial frequency error
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首先，通过拟合37个Zernike多项式去除低频误差，并从实际表面误差中提取中空间频率误差;将得到的中空频误差导入非球面，导出仿真像面的点扩散函数，计算出相应的半影宽度。
提供机构：
Jiahong Liu创建时间：
2023-09-11
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首先，通过拟合37个Zernike多项式去除低频误差，并从实际表面误差中提取中空间频率误差;将得到的中空频误差导入非球面，导出仿真像面的点扩散函数，计算出相应的半影宽度。