新型MOCVD设备在硅基蓝绿光Micro-LED外延生产应用数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-08-30 收录
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资源简介：
新型MOCVD设备在硅基蓝绿光Micro-LED外延生产应用主要针对中微公司开发的Micro-LED用新型MOCVD设备在晶湛公司开展Micro-LED生产调试，探索新款设备在硅基蓝绿光Micro-LED外延生产过程中的设备与工艺稳定性，以及提升设备的维护周期，获取了较好的生产良率数据。该数据集主要采集了相关维护周期与生产稼动率的测试记录，相关测试报告等数据，数据量约为2.52MB。
提供机构：
中微半导体设备(上海)股份有限公司
