大尺寸Si衬底GaN外延材料数据库
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=6488062099f1de7f42f3180a&type=1
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资源简介：
本数据库是面向电源模块应用的大尺寸硅衬底氮化镓外延材料的相关数据，主要记录了外延材料的厚度组分均匀性、翘曲、方块电阻、沟道迁移率、表面形貌、耐压漏电以及空穴掺杂浓度等测试数值。 数据量80MB。
提供机构：
中山大学
