二维材料生长装备工程样机图纸与测试数据集

本数据集主要面向二维材料大尺寸生长装备的工程化设计与集成测试需求建设，基于嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心的工作站平台及装配测试环境产生。背景是在2英寸原理样机基础上，开发8英寸工程样机，实现真空度10⁻⁴Pa、支持晶圆直径8英寸等考核指标。数据产生方法包括：使用SolidWorks和AutoCAD进行三维机械设计及二维图纸绘制，遵循SEMI人机工程与电气安全标准；采用Altium Designer和EPLAN进行电气设计；在ISO 6级洁净室中完成零部件装配，并基于FAT方法开展工厂验收测试，涵盖软件界面（INTOUCH）的人机交互验证。主要内容分为五个子文件夹：设计图纸（含三维图纸、各系统图纸、6项发明专利、流场仿真模型、腔体STEP文件等26个文件）、电气图纸（电路图PDF及zw1文件）、装配组装图（6张现场照片）、运行测试图（9张软件测试界面截图及1份测试报告）、出厂测试资料（合格证、检测报告、温度测试数据表、验收单、培训记录等）。数据体量共计2.9GB。该数据集完整记录了从设计、装配到测试的全链条工程数据，是装备可制造性与可靠性的直接证据。