无源合波器
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研制出超高折射率差SiOx 光波导材料，折射率差2.0%，片上折射率均匀性±0.0005，片上厚度均匀性±0.2%，翘曲-10~30μm，应力-20~0Mpa，研制出O 波段4 通道、通道间隔20nm 的超高折射率差SiOx 合波器，插入损耗≤4.38dB，串扰≤-30.65dB。
提供机构：
国家基础学科公共科学数据中心创建时间：
2021-03-31
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研制出超高折射率差SiOx 光波导材料，折射率差2.0%，片上折射率均匀性±0.0005，片上厚度均匀性±0.2%，翘曲-10~30μm，应力-20~0Mpa，研制出O 波段4 通道、通道间隔20nm 的超高折射率差SiOx 合波器，插入损耗≤4.38dB，串扰≤-30.65dB。