铌酸锂薄膜微环数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
铌酸锂薄膜微环数据集面向国家重点研发计划项目“基于铌酸锂薄膜的量子光学集成芯片和量子信息物理的实验研究”任务书中考核指标1.1波导损耗和指标1.2微环结构，提供了微跑道环和微圆环两类微环结构的仿真设计、加工制备、结构表征、性能测试等数据文件，包括导出的FDTD仿真文件、微纳加工版图文件、SEM表征图片以及基于扫频激光器测试的透射谱原始数据，数据量约70MB。
提供机构：
中国科学院西安光学精密机械研究所
