8英寸铌酸锂薄膜第三方检测数据

铌酸锂薄膜材料处于通信领域链上游，基于铌酸锂薄膜材料做成的光学器件，满足宽带通信系统对高性能、轻量化和集成化的迫切需求。使用数显游标卡尺测量8英寸铌酸锂薄膜晶圆直径；使用膜厚仪F50测量LN薄膜层厚度、厚度偏差及平均厚度允差；使用原子力显微镜测量LN薄膜层表面粗糙度；使用扫描电子显微镜，聚焦的高能电子束来扫描薄膜横截面，通过光束与物质间的相互作用，形成反馈图像，由于薄膜与基底的物质成分存在差异而在图像中产生不同亮度的图像，从而可以观察LN薄膜层与二氧化硅界面。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集包含8英寸铌酸锂薄膜晶圆的第三方检测数据，通过多种仪器测量其直径、厚度、表面粗糙度及薄膜与基底的界面结构。数据来源于国家重点研发计划项目，旨在支持薄膜铌酸锂光子集成关键工艺的开发。