高精度超光滑X射线非球面准直镜表面粗糙度数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-12-27 收录
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资源简介：
原子力显微镜可以表征出镜面的高频粗糙度误差，在非球面反射镜的上沿横向测量三个不同位置，采用原子力显微镜和光学轮廓仪获得三个位置的粗糙度σ_1，σ_2，σ_3。取三值平均值σ=(σ_1+σ_2+σ_3)/3作为最终粗糙度指标。数据集约为52MB。
提供机构：
同济大学
