工艺线验证过程中无损测量系统采集的数据

在对项目所研发的近红外低相干显微干涉测量系统进行工艺线验证的过程中，所采集到的各类待测微结构样品通过项目所研发的近红外低相干显微干涉测量系统对任一待测微结构样品进行检测，通过项目所研发的近红外低相干显微干涉无损测量系统对任一待测微结构样品进行检测，将样品安装在样品台上，调节手轮使得显微物镜分别定位至样品上、下表面，探测器上出现相应干涉条纹，点击开发的测试软件中的测量按钮，由PZT自动控制扫描并由探测器采集多组干涉图序列，利用测试软件程序实现样品表面三维形貌的复原并采集形貌复原结果数据。对系统的工艺线验证的测试报告由第三方机构中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司出具。