气体沉积参数与流程数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-11-08 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=690e17a4195d264cf5382540&type=1
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资源简介：
本数据集开发了国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）电子束和聚焦离子束气体沉积流程和参数，展示了电子束和离子束沉积C和W等气源的实例。
提供机构：
上海精测半导体技术有限公司
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