气体沉积参数与流程数据

本数据集开发了国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）电子束和聚焦离子束气体沉积流程和参数，展示了电子束和离子束沉积C和W等气源的实例。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）的电子束和聚焦离子束气体沉积流程与参数开发。它提供了电子束和离子束沉积碳、钨等气源的具体实例，旨在支持相关工程与技术科学领域的研究与应用。