离子注入模拟结果数据集

本数据集为采用Stopping and Range of Ions in Matter（SRIM）程序模拟的离子注入浓度深度分布曲线。数据由Stopping and Range of Ions in Matter（SRIM-2008）版本生成，通过SRIM软件模拟在硅上采用不同能量注入Ar离子的浓度深度分布曲线。该软件模拟时只需填入参数，如注入离子类型，注入能量，靶的类型等，无需编写程序，软件可直接输出模拟结果。