MEMS samples Type 1

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Zenodo2026-02-24 更新2026-05-26 收录

微机电系统研发

器件样本分析

数据链接：

https://zenodo.org/doi/10.5281/zenodo.18754563 数据链接链接失效反馈

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资源简介：

Spreadsheet with information about the first type of MEMS samples for D1NAM0 project

提供机构：

创建时间：

2026-02-24

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