量子数模转换器关键材料测试数据集

量子数模转换器件是新一代便携式交流量子电压标准系统的核心器件，课题组在量子数模转换器件的研制过程中对Nb超导薄膜和覆盖约瑟夫森结的绝缘二氧化硅薄膜进行了工艺优化。此数据集是在上述工艺优化过程中产生的Nb薄膜GIXRD数据，Nb薄膜表面SEM图像，Nb薄膜表面粗糙度AFM，Nb薄膜划痕测试数据和SiO2绝缘层击穿电压测试数据，数据量190.57MB。