硅光PDK数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
硅光PDK数据集主要面向硅基光子集成研究，基于上海集成电路研发中心有限公司工艺线开发的PDK产生，主要记录了ICRD硅光PDK的版图、工艺信息及相关器件性能，具体包含如下14种C波段、O波段无源器件和8种C波段、O波段有源器件信息：Si波导、Si交叉结、Si转接器 、Si光栅耦合器、Si多模干涉仪、马赫曾德尔调制器、锗探测器、微环调制器、热光相移器。数据类型为器件版图及对应的工艺、测试参数文件。数据量为187MB
提供机构：
中国科学院微电子研究所
