微电子所TaOx基电子型选通器件数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=67040a4f195d262316044140&type=1
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资源简介：
通过控制施加在Ta电极上的电压，Ta/TaOx/Ru器件可以分别作为高度均匀、非线性的选通器件和稳定的阻变器件。研究了选通器件和阻变器件的机理。该Ta/TaOx器件为大规模阻变阵列提供了潜在的解决方案。该数据集记录了器件研制的工艺、电学等数据。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
