透射电子显微镜样品制备参数与流程数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-11-08 收录
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资源简介：
本数据集基于透射电镜制样技术要求，开发了国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）制备透射电镜样品的参数和流程。透射电镜样品制备流程主要分为沉积保护层、粗切挖坑、U-Cut、薄片转移和精切减薄等，提供了各流程最佳参数，对制备其他透射电镜样品具有指导性。
提供机构：
上海精测半导体技术有限公司
