透射电子显微镜样品制备参数与流程数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-11-08 收录
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本数据集基于透射电镜制样技术要求，开发了国产化双束显微镜（AeroScan DUO 300）制备透射电镜样品的参数和流程。透射电镜样品制备流程主要分为沉积保护层、粗切挖坑、U-Cut、薄片转移和精切减薄等，提供了各流程最佳参数，对制备其他透射电镜样品具有指导性。
提供机构：
上海精测半导体技术有限公司搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
本数据集基于国产化双束显微镜AeroScan DUO 300，系统记录了透射电子显微镜样品制备的完整流程及各步骤最佳参数，包括沉积保护层、粗切挖坑、U-Cut、薄片转移和精切减薄等关键环节，对同类样品制备具有指导意义。
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