2-4 英寸直径锑化物超宽光谱多波段分子束外延（MBE）材料工艺及性能数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
本数据集收集提供了一种大尺寸超宽光谱多波段分子束外延材料的性能表征数据。利用可靠的设备采集了锑化物外延材料的光学图像、PL图像、AFM图像、XRD图像以及Hall测试图像，这些数据表征了外延材料的外延质量以及光电性能。这为发展锑化物超晶格多波段红外探测器具有重要的意义。
提供机构：
中国科学院半导体研究所
