Sub-6G BAW滤波器量产标准工艺研究数据集

本数据集主要面向Sub-6G频段BAW滤波器的量产工艺优化与性能验证需求而建设，聚焦于量产标准下的工艺稳定性、薄膜均匀性、键合切片可靠性及滤波器实测性能等关键环节。其体现了近年来国内在高端射频滤波器量产技术领域的持续攻关成果，具有重要的产业应用价值与技术攻关意义。由课题单位广州市艾佛光通科技有限公司在2022年到2025年实验采集产出，实验设备由膜厚仪对薄膜均匀性进行定量计算与评估；扫描电子显微镜（SEM）对键合切片界面及深孔刻蚀工艺结果进行形貌观测；矢量网络分析仪抽取已量产滤波器产品的电学性能参数，获取S参数等原始测试数据。所有数据均来源于真实量产线或量产产品的抽样检测，确保了数据的科学性与可溯源性，具有较强的工程参考价值。其包含三大模块：一是量产标准工艺研究数据，涵盖量产工艺优化测试数据、薄膜均匀性优化前后的应力分布对比图、AlN薄膜厚度三维模拟图、谐振器频率晶圆映射图等成果，以及键合工艺切片样品SEM图；二是BAW量产滤波器实测数据，包括5195MHz频段两次抽取量产产品的原始测试数据；三是相关专利。数据体量 6.37GB。