8英寸MEMS传感器加工中试平台异质集成压电复合膜的应力数据集

Mo/AlScN/Mo/Si异质集成压电复合膜作为一种新型高性能压电材料体系，凭借其独特的结构设计和优异的材料特性，在微机电系统（MEMS）领域展现出广阔的应用前景，在惯性、压力、声学、光学等MEMS器件中具有广泛的应用。本数据集含有8英寸MEMS传感器加工中试平台异质集成压电复合膜的应力测试数据，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内的8英寸MEMS传感器加工中试平台异质集成压电复合膜的应力数据；应力分布图。本数据集为8英寸MEMS传感器加工中试平台异质集成压电复合膜的应力测试数据集，为MEMS专用异质集成压电复合膜的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。