偏压应力稳定性测试数据集

该数据集基于原子层沉积制备的 In2O3薄膜晶体管，并通过 CF4等离子体处理引入不同程度的氟掺杂，系统采集了器件在负偏压应力（NBS）和正偏压应力（PBS）条件下阈值电压随时间演化的实验数据。数据集涵盖未氟化及多种氟化处理条件下器件的应力测试曲线、对应的原始数据文件以及退化机理示意图。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集基于原子层沉积技术制备的In2O3薄膜晶体管，通过CF4等离子体处理实现不同程度的氟掺杂，系统记录了器件在正、负偏压应力条件下阈值电压随时间的漂移数据。内容涵盖未氟化及多种氟化处理条件下的应力测试曲线、原始数据文件及退化机理示意图。