偏压应力稳定性测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-21 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69b82932195d2623ac63a865&type=1
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资源简介：
该数据集基于原子层沉积制备的 In2O3薄膜晶体管，并通过 CF4等离子体处理引入不同程度的氟掺杂，系统采集了器件在负偏压应力（NBS）和正偏压应力（PBS）条件下阈值电压随时间演化的实验数据。数据集涵盖未氟化及多种氟化处理条件下器件的应力测试曲线、对应的原始数据文件以及退化机理示意图。
提供机构：
北京大学深圳研究生院
