偏压应力稳定性测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-21 收录
官方服务：
资源简介：
该数据集基于原子层沉积制备的 In2O3薄膜晶体管，并通过 CF4等离子体处理引入不同程度的氟掺杂，系统采集了器件在负偏压应力（NBS）和正偏压应力（PBS）条件下阈值电压随时间演化的实验数据。数据集涵盖未氟化及多种氟化处理条件下器件的应力测试曲线、对应的原始数据文件以及退化机理示意图。
提供机构：
北京大学深圳研究生院
社区交流群
科研交流群
商业服务
该数据集基于原子层沉积制备的 In2O3薄膜晶体管，并通过 CF4等离子体处理引入不同程度的氟掺杂，系统采集了器件在负偏压应力（NBS）和正偏压应力（PBS）条件下阈值电压随时间演化的实验数据。数据集涵盖未氟化及多种氟化处理条件下器件的应力测试曲线、对应的原始数据文件以及退化机理示意图。