针对MEMS器件的敏感元件标准化设计的规则数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=686a8dae195d2621a90dbf7b&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
本数据包含了麦克风、惯性器件、压力传感器三个类别产品的标准设计规则，包括引用文件和术语等定义，光刻版的定义、版图布局规则，对准标记设计规则键合结构的图形设计规则等内容。类型是文件，共3件。文件采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2021年12月至2024年11月，数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司的生产线上。数据量2.39MB。
提供机构：
芯联集成电路制造股份有限公司
