氧化镓异质结二维电子气数据集

本数据集提供了国家重点研发计划项目“大尺寸氧化镓半导体材料与高性能器件研究”（项目编号：2022YFB3505500）中关于异质结二维电子气电学性能的实测数据。数据样品为氧化镓薄膜的异质结二维电子气面电荷密度和迁移率的测试结果。测试按照本项目《氧化镓外延薄膜检测大纲》进行，该测试大纲已通过专家评审。所用测试仪器均在校验有效期内，确保了项目测试数据的质量。分别于2025年3、9月在中国计量科学研究院北京市昌平院区采用霍尔效应测试仪完成测试，得到异质结氧化镓薄膜样品的面电荷密度和迁移率分别为1.02×10^13cm-2、143.3 cm^2V-1s-1和1.27×10^13cm-2、161.6 cm^2V-1s-1。数据经过第三方权威机构检测，仪器设备均处于校准有效期内，数据真实可靠。另外在英国Diamond同步辐射中心I09线站进行了硬X射线衍射测试，异质结氧化镓薄膜样品的CB谱图在费米能级发现电子占据态，确定了异质结氧化镓薄膜样品明显提高了界面二维电子气密度。因此该结果可为氧化镓材料电学性能评价、器件设计与仿真提供基础数据支持。