原子氧对非平衡磁控溅射MoS2-Ti复合薄膜真空摩擦学性能的影响
收藏中国科学院兰州化学物理研究所科学数据中心2023-09-01 更新2024-03-05 收录
下载链接：
https://ggjsfwdata.licp.cn/dataDetails/642b84eb5c26408daf227fd20ba240ff
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
对采用非平衡磁控溅射方法制备的柱状晶MoS2-Ti复合薄膜开展了原子氧(AO)辐照试验. 原子氧的平均动能是5 eV，累计辐照通量6.0×1022 atoms/cm2. 原子氧造成薄膜表面出现“绒毯”状形貌，表层的MoS2和内部的低价钛氧化物分别被氧化成硬质的MoO3和TiO2，但原子氧对距表层30 nm以下Mo的化学态没有影响. 薄膜的初始真空摩擦系数和磨损率分别由辐照前的大约0.018和4.49 × 10−17 m3/(N·m)升高至0.03 和5.5×10−17 m3/(N·m)，磨损机制也发生了由黏着磨损向磨粒磨损的转变.
提供机构：
中国科学院兰州化学物理研究所科学数据中心
创建时间：
2023-09-01
