离子刻蚀及气体增强刻蚀参数与流程数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-11-08 收录
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资源简介：
本数据集体现了国产化聚焦离子束/电子束双束显微镜（AeroScan DUO 300）离子束刻蚀和气体增强刻蚀的参数和流程数据。对比了离子束刻蚀和离子束气体增强刻蚀（碘）在相同离子束参数下在金属线和互连层的实例。
提供机构：
上海精测半导体技术有限公司
