热流传感器动态性能实验数据集

该数据集主要面向项目研究内容2“基于MEMS的抗高温失效薄膜封装方法研究”的相关研究，基于新型热流传感器的动态性能提升研究需求建设，基于JJG(军工)163-2019辐射热流传感器检定规程和XJTU20240301MEC-01《热流传感器测试大纲》等标准方法约定的条件，以及标准热流计、直线滑台（海杰嘉创，HJ03A-300中国）、数字万用表（Keithley，美国）、陶瓷加热片（星河电子，XH-RP4040,中国）、液氮（西安邦鑫气体，纯度99.5%）、医用冰袋（秝客，lelefake，I型，中国）、高温热风枪（高漫，YS1600W，中国）等设备产生，所有测试样品由实验室自行研制。实验数据由试验人员和分析人员根据具体的实验方案在实验过程中采集。热流传感器测试数据采集方式是将制备好的传感器样品送至中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所检测分析，采用标准热流校准装置，测试主要依据是JJG(军工)163-2019辐射热流传感器检定规程和XJTU20240301MEC-01《热流传感器测试大纲》等标准。柔性热流传感器实验室测试数据由试验人员和分析人员根据具体的实验方案在实验过程中采集，并通过直线滑台，与数据采集系统的同步测量方式方法进行测试和分析。加热试验铜通过高温加热片，与数据采集系统的同步测量方式方法进行测试和分析。液体测试通过调节水温，与数据采集系统的同步测量方式方法进行测试和分析。人体测试中，将热流传感器贴附于人体表面，获得皮肤表面向外散热情况。气流测试中，热风枪与数据采集系统的同步测量方式方法进行测试和分析。主要记录了热流传感器灵敏度实验数据、热流传感器响应时间实验数据及柔性热流传感器实验室测试数据等内容数据，数据量13.4 MB。对应标2.6灵敏度（≥5μV/(W/m2)）、指标2.7响应时间（≤500ms）、指标8.1论文、指标5.1专利，内含3个说明文件，3个表（9个分表）、2个第三方测试报告，7个图，3个元数据信息表，1个专利文件。该数据集通过实验室测试与动态性能表征，可验证热流传感器性能，为工业现场的热流反馈提供数据基准与技术保障。