单晶金刚石晶体及器件结构的高精度微细加工实验数据集

本数据集记录了单晶金刚石从表面处理、图形化到微结构加工的全工艺链条关键参数，包括金刚石表面粗糙度数据、金刚石表面微米电极设计版图及紫外光刻效果光镜图、不同金属催化刻蚀金刚石样品光学显微镜图和激光显微镜图、激光加工时间与金刚石切割速率和材料去除率关系曲线等数据，为研究金刚石材料加工工艺、提升金刚石基电子器件性能提供了实验数据支撑，对推动单晶金刚石在高端器件领域的应用具有重要价值。数据量约为91.1MB。