磁性多层膜自旋扭矩数据集

本项目采用磁控溅射制备Ta/W/CoFeB/MgO/Ta复合磁性薄膜，利用紫外光刻、氩离子刻蚀制备微米尺寸的霍尔巴，通过电学、磁光科尔光镜等表征和测量手段，证实了超薄 W 层基于界面修饰可以有效地调控磁性多层膜的垂直磁各向异性（PMA）和自旋轨道矩（SOT）性能，这为自旋轨道距器件（SOT-MRAM）的实用化提供了可能性。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集基于磁控溅射制备的Ta/W/CoFeB/MgO/Ta复合磁性薄膜，通过微纳加工和表征手段，证实超薄W层能有效调控垂直磁各向异性和自旋轨道矩性能。这为自旋轨道距器件的实用化发展提供了实验依据。