micromirror rotation under UV laser irradiation

Name: micromirror rotation under UV laser irradiation
Creator: Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
Published: 2023-08-18T00:00:00+08:00

科学数据银行2023-08-23 更新2026-04-23 收录

MEMS微镜

紫外激光-微纳器件交互

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资源简介：

Study on Electrostatic Rotation of The Micromirror in illumination System under UV Laser Irradiation

提供机构：

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

创建时间：

2023-08-18

micromirror rotation under UV laser irradiation

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