探测器芯片第一轮流片测试数据

本课题根据经过国家仪器校准的矢量网络分析仪，源表以及探针台对波导型探测器芯片进行了光电性能测试，其中矢量网络分析仪主要对芯片进行3dB带宽测试，电容评估，源表对探测器芯片进行暗电流以及相应度的测试，其中光信号通过矢量网络分析仪中的光调制器经过单模光纤进行耦合。探测器的3dB带宽决定了探测器的高频性能，探测器的响应度和暗电流决定了器件的信噪比，他们都是波导型光电探测器的核心参数。整个测试系统是通过半自动探针台实现的，调制光信号经过偏振调制，强度调制后入射到探测器之中，同时测得探测器的3dB带宽以及响应度，在无光环境下对暗电流进行记录，得到了指标中最重要的三个参数信息。