一种50~300K真空环境用NbSe2-LaF3复合润滑薄膜及其制备方法

本发明涉及一种50~300K真空环境用NbSe2-LaF3复合润滑薄膜及其制备方法，其特点是利用低温下超导材料电阻率降低，从而导致电子对摩擦贡献降低的特性，采用非平衡磁控溅射技术制备了一种NbSe2-LaF3复合薄膜。首先，利用金属Ti和LaF3混合压制成靶的方法，解决稀土化合物LaF3因电阻过大难以溅射的问题；其次利用稀土化合物LaF3细化晶粒的作用来改善NbSe2薄膜的致密性，从而进一步降低NbSe2薄膜在低温下的电阻，减少电子对摩擦的贡献，使薄膜在低温下具有优异的润滑性能和承载能力。本发明技术可应用于超导线圈，火箭发动机、深空探测望远镜等低温运动接触部件的表面润滑处理。