铁电存储阵列展示

数据集主要展示所制备的铪基铁电存储阵列的容量。
阵列容量是影响存储密度的重要指标，也是存储器实现数据存储的关键。利用版图设计工具测量待测阵列版图，获得阵列在水平和垂直方向的尺寸，以及阵列在水平垂直方向单个器件的Pitch，从而计算得出待测阵列容量。此外通过聚焦离子束（FIB）技术，在阵列样品的水平和垂直方向上分别制样，通过透射电镜（TEM）拍摄阵列在水平和垂直方向的实物照片，并测量出存储单元之间的Pitch。将版图测量和电镜照片测量获得的Pitch值进行对比，从而评估设计与实际制造的一致性。选择了有资质的第三方测试机构（工业和信息化部电子第五研究所）进行了测试，确认阵列容量≥1Mbit，测试结果出具第三方报告。
数据集记录了所制备的铪基提诶单存储阵列的版图照片，以及电镜对比照片，并附上第三方测试报告。
数据集容量共8.75MB。