MEMS多力学量传感器集成方案设计、ASIC接口电路设计及相关信号处理
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-02-07 收录
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资源简介：
本数据集中的数据来自MEMS传感器与ASIC电路的集成设计与优化、多维力传感器与ASIC集成电学模型、接口电路模型研究，集成方案对传感器和电路性能影响研究、MEMS阵列触觉传感器与ASIC集成电学模型、接口电路模型研究，集成方案对阵列触觉传感器和ASIC电路性能影响研究。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
