ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ КАНАЛОВ НА ПОВЕРХНОСТИ САПФИРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТЕРМОПЛАЗМОННОГО ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННОГО ЖИДКОСТНОГО ТРАВЛЕНИЯ

Метод термоплазмонного лазерноиндуцированного жидкостного травления основан на локализации энергии в высокопоглощающей жидкости, прилегающей к обрабатываемой поверхности, при этом усиление лазерного излучения в приграничной области происходит за счет образования плазмонных частиц. Такой метод позволяет осуществлять высокоскоростное (до нескольких мкм/сек) травление таких труднообрабатываемых материалов, как сапфир и алмаз 1, 2. В работе приведены результаты электронномикроскопического исследования каналов на поверхности сапфира, полученных методом лазерноиндуцированного жидкостного травления (ЛИЖТ).