芯片传感平面尺寸
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
芯片传感平面尺寸主要针对高性能传感器的研发需求，着眼于解决“自下而上”纳米自组装与“自上而下”晶圆级制造的工艺兼容性难题。本研究基于局域选择性自组装纳米敏感材料与图案化技术，实现多种纳米敏感材料在传感芯片功能区域的定域精准的沉积，实现。数据集主要记录单个传感芯片阵列中多个区域集成的不同传感材料的平面尺寸。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
