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光電及半導體設備產學合作成果

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政府资料开放平台2026-04-01 更新2026-05-16 收录
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https://data.nat.gov.tw/dataset/29819
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资源简介：
104年-CO2 Laser輔助PECVD之矽薄膜製程與含氫量等特性關係研究 ,
提供机构：
經濟部工業局
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