8英寸MEMS传感器定制化压电薄膜核心性能参数数据集

压电材料是一类机械能和电能相互转换的信息功能材料，它具有压电效应（正）和逆压电效应。MEMS传感器中的压电薄膜是关键材料，影响传感器的性能。本数据集含有8英寸MEMS传感器定制化专用压电薄膜的厚度均匀性、应力、半峰宽核心性能参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内薄膜的双光束激光干涉仪测试结果图、薄膜厚度测试值均一性、应力分布图。本数据集为8英寸MEMS传感器定制化压电薄膜核心性能参数，为MEMS传感器定制化压电薄膜的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。