一种激光三角位移传感器及其测量方法

本发明涉及一种激光三角位移传感器及其测量方法，包括以下步骤：激光器发射激光束至反射镜，反射镜将激光束反射至物体表面；经物体表面反射的激光束通过透镜聚焦，使聚焦之后的激光束在位置传感器接收面形成光斑；PSD传感器进行光电转换，并通过信号处理模块转换成表示物体位置的信息。本发明主要针对空间尺寸狭小的孔类零件、平行平板或其他复杂机械结构的内尺寸测量。其外形尺寸小，具有良好的通用性、便携性，可实现微小尺寸的高精度、高效率测量。