同步辐射成像测试数据集

本课题提出了一种用衍射角度的前后两张投影图差值来替代衍射投影的方法，来解决衍射效应带来的影响。利用X射线断层扫描技术，对仿TSV工艺的等离子体刻蚀方法得到的刻蚀样品进行了高分辨、无损的成像，获得了刻蚀孔的三维定量信息。提出了一种针对密集排列碳纤维复合材料的高效三维定量表征方法，实现了每根碳纤维的精确表征，并且发现了在方向一致性很好的单束纤维中，连通孔主要分布在方位角不同的两组子纤维束的交接处。