ZnO_Based氧化锌薄膜化学蚀刻工艺优化统计方法研究数据
收藏海数据2026-06-25 收录
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本数据集为氧化锌（ZnO）薄膜化学蚀刻工艺优化的统计研究数据，包含实验原始数据、数据处理说明及XRF与拉曼光谱原始数据。研究聚焦氯化铵（NH4Cl）溶液蚀刻ZnO薄膜的速率与选择性，分析浓度、温度等因素及交互作用的影响，构建蚀刻速率的线性模型，为材料微加工工艺优化提供支撑。 论文“A statistical method to optimize the chemical etching process of Zinc Oxide thin films”
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2026-01-29
