电子工业用气体

气体工业是国民经济的基础行业，随着国民经济的快速发展，气体工业特别是高纯和超高纯气体以及电子用气体行业也蓬勃发展。气体中痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节。电子工业用气体是微电子工业的重要原材料。电子工业用气体主要用于半导体、电真空材料、硅晶片、光导纤维生产等领域，作为热处理气氛气和过程气而广泛使用，这些气体的纯度对产品的好坏影响很大。关于电子气体分析，目前国内已研究开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器，检测电子工业用气体氮和氩中的氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、水等杂质含量，保证气体纯度满足标准要求。