25 nm-Feature, 10-Aspect-Ratio, 10 mm-Area Single-Pulsed Laser Nanolithography

Figshare2025-08-13 更新2026-04-28 收录

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2025-08-13

MEMS多维力敏感元件设计、制备工艺和性能测试

MEMS力传感器研发

微纳制造工艺

本数据集是与MEMS多维力敏感元件及其自校准模块研发相关的数据，主要包括报告、论文、专利、标准、图表合集和支撑数据等子数据集。其中，报告子数据集主要包括年度科技报告和针对考核技术指标的第三方检测报告；论文、专利和标准子数集分别主要包括项目执行过程中发表的论文、专利和标准等成果的源文件；图表合集主要包括项目研发过程中生成的原理图、模型图、数据图和实物照片等图表文件；支撑数据与图表合集相对应，主要是图

国家基础学科公共科学数据中心120

微圆周表面标准化喷印工艺与样机研制数据

微纳制造工艺

共形喷印技术

本数据集共包括5个数据文件夹，数据总量为1.12 GB。数据内容主要包含三个研究方面对应的过程数据文件夹：（1）标准化喷印工艺开发与调控数据文件夹，主要包括仿真模型源文件、仿真过程导出视频与图片、实验过程拍摄视频与图片、显微镜观察结构形貌图片、支撑研究成果的数据图片；（2）张力保持装置开发数据文件夹，主要包括装置设计模型源文件、研制实物图、实验过程拍摄图片、显微镜观察结构形貌图片、支撑研究成果的

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DeMeGRaS_samples_data_2022-04

微纳制造工艺

半导体表征

DeMeGRaS_samples_data_2022-04 Layouts, fabrication steps, optical- and SEM pictures

Zenodo2022-04-04 更新30

多功能墨水电流体喷印原理与喷印模式演变规律数据

电流体喷印技术

微纳制造工艺

数据集共包括14个数据文件，其中：(1) GBT 36969-2018 《纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》.pdf 是国家标准，数据量507KB；(2) GBT 33826-2017 《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法》.pdf 是国家标准，数据量3464KB；(3)喷印线宽检测结果表.png 是第三方测试过程中产生的支撑检测结果的原始数据，数据量212KB；(4)喷印膜厚

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Data for: "Spatially dense integration of micron-scale devices from multiple materials on a single chip via transfer-printing"

微纳制造工艺

异构集成技术

Supporting dataset for the publication "Spatially dense integration of micron-scale devices from multiple materials on a single chip via transfer-printing"

DataCite Commons2021-10-22 更新50

25 nm-Feature, 10-Aspect-Ratio, 10 mm-Area Single-Pulsed Laser Nanolithography

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