纳米级偏移量干涉测量验证数据集

本数据集为纳米级偏移量干涉测量验证数据，构建了“法珀探头—自研解调仪—激光测振仪”对比标定测试系统，完成了20kHz、300kHz 两种频率下声信号激励的膜片振动解调与标定测试，明确了自研解调仪对小于0.5nm纳米级偏移量的有效检测能力，且解调结果与激光测振仪标定值的偏差控制在±0.2nm允许范围内。该数据集不仅为自研光学麦克风解调仪的纳米级测量精度提供了直接实测验证，还为解调模块的灵敏度优化、算法改进提供了可靠的数据支撑。本数据集内含2个子文件夹、3个Excel文件、2个jpeg文件。其中子文件夹分别展示了在20kHz、300kHz声信号激励下激光测振仪的测量截图；3个Excel文件分别对应20kHz、300kHz声信号激励下解调仪的解调结果数据以及与测振仪测量结果对比的整理数据；2个jpeg文件分别为20kHz、300kHz声信号激励下解调仪的解调结果。数据集体量25MB.

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集通过构建'法珀探头—自研解调仪—激光测振仪'对比标定测试系统，验证了自研解调仪在20kHz和300kHz频率下对小于0.5nm纳米级偏移量的有效检测能力，偏差控制在±0.2nm范围内。它为光学麦克风解调仪的纳米级测量精度提供了实测验证，并为灵敏度优化和算法改进提供了数据支撑。