自动化光芯片精密位移测量与控制测量平台数据

自动化光芯片精密位移测量与控制测量平台是基于光波元器件分析仪开发的测量应用成果。本课题基于硅光芯片探针台研制了耦光重复性±0.1 dB、耦合精度100 nm的光电集成芯片自动化测试平台、完成了高频115GHz频率范围测试、RF PAD尺寸测试 、光口数量 测试、耦光重复性测试、耦合精度测试、光耦合位移精度测试、温度稳定性测试等任务目标。高频率光电芯片测试平台的耦合精度，耦光重复性等技术指标已达到结题考核对待测设备平台的要求。结合九峰山实验室“国家集成电路中试平台”，该测试平台为国内硅光、射频半导体研制提供开放和高水平的测试能力，促进了产业的发展。主要记录了上述高频率光电芯片测试平台的的测试数据，压缩包数据量39.5MB。