超大惯量旋涂装备精度与腔室气氛实时控制技术研究数据

本数据集围绕大面积光刻胶薄膜旋涂成膜的膜厚均匀性提升需求开展，重点关注超大超重光栅旋涂中，旋涂装备的主轴运动特性、轴系振动与腔室气氛的控制技术。针对高精度高稳定性大惯量主轴测试系统与转台振动特性的数据内容，使用加速度传感器，开展转台、轴承座等位置的振动测试与频谱分析；针对超重转台稳定支撑技术的数据内容，基于轴承动力学以及柔性多体动力学基础，开展轴承-轴系系统运动特性的研究；针对旋涂腔室气氛变化规律与气氛环境调控方法的数据内容，开展不同初始腔室气氛调控方法下气氛变化规律的溶剂气体浓度变化的测试研究；针对气氛环境控制对膜厚均匀性影响的数据内容，开展以腔室气氛环境为变量的涂胶均匀性实验研究。数据集包含2020年-2025年间，旋涂装备轴系运动特性、轴系振动测量以及腔室气氛控制技术三个子数据集，数据格式包括数值序列、模型输出、图形与研究报告。本数据集可用于大面积光刻胶旋涂工艺研究、工艺参数优化、装备研发与模型验证等场景，对大面积光刻胶高均匀性旋涂成膜技术及相关高端光学制造具有重要应用价值与参考意义。本数据集的数据量为109MB。