散热结构制造数据集

热沉决定了激光器的光束质量，围绕高性能薄片激光增益器件精密制造的重大需求，基于散热结构制造新方法，开发了SiC散热结构飞秒激光制造工艺，实现了大深径比树状脉络仿生SiC热沉微结构的激光精密制造：SiC热沉微结构尺寸误差<2.8μm，SiC微槽深径比7.2：1，与无微结构的增益器件相比，散热性能提升了14.89%。该技术支撑了薄片增益器件的制备，为实现高光束质量的大能量、高功率皮秒激光输出提供了关键技术支撑。本数据集收录了SiC热沉微结构激光制造数据，包含光场调控数据，激光加工、表征和性能测试数据。该数据集为硬脆材料激光精密制造提供了重要的数据支撑。