Machine-Learning Based Inference of Critical Dimensions of Gate-All-Around Transistors from Reflectance Spectroscopy Measurements
收藏NIAID Data Ecosystem2026-05-10 收录
数据链接：
官方服务：
资源简介：
Wavelength-Dependent scatterometry intensity values for periodic transistor arrays.
创建时间：
2026-01-07
