LN薄膜层厚度偏差原始数据

铌酸锂薄膜材料处于通信领域链上游，基于铌酸锂薄膜材料做成的光学器件，满足宽带通信系统对高性能、轻量化和集成化的迫切需求。采用离子注入、键合分离法制备铌酸锂单晶薄膜的工艺中，大尺寸铌酸锂晶圆离子注入的均匀性直接影响分离后获得的铌酸锂薄膜的厚度均匀性、厚度偏差以及厚度范围。