4英寸高质量AlN单晶模板衬底的实现数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd4132f17560281a74aca9&type=1
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资源简介：
数据集包含研究热流场耦合方式、AlN异质外延生长动力学过程、AlN界面缺陷类型、分布及其演化等行为过程中产生的表征测试结果数据以及4英寸AlN单晶模板衬底的制备过程中的直径、厚度、位错密度等关键指标，其中数据文件夹的名称为数据内容对应的测试表征名称。
提供机构：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于4英寸高质量AlN单晶模板衬底的实现，涵盖了热流场耦合、AlN异质外延生长动力学及界面缺陷等研究过程中的表征测试数据。同时，它提供了衬底制备过程中的关键指标，如直径、厚度和位错密度，以支持相关材料科学研究。
以上内容由遇见数据集搜集并总结生成
