MEMS声发射传感器断铅测试数据

本数据集源于课题三研究内容3-“硅基 MEMS 压电式薄膜传感器加工制造”，在完成MEMS薄膜声发射传感器芯片制备后，开展声发射源模拟实验过程中产生的试验数据。基于示波器进行数据采样，输出测试数据。根据课题研究目标及研究内容开展传感器性能测试，参考断铅（PLB）测试方法在实验室搭建断铅测试环境，开展传感器断铅试验。数据集内容包括：MEMS声发射传感器断铅测试实验环境、断铅测试信号、断铅测试频谱图及其原始信号。