MEMS气体传感器批量制造数据集

MEMS气体传感器批量制数据集主要内容包含MEMS气体传感器批量制造技术、多参数监控及先进批量封装技术、批量测试及标准化标定方法的建立。具体数据内容包括MEMS气体传感器批量制造工艺、批量封装技术方法、批量测试及传感器元件销售等数据。MEMS传感器批量制造的研究工作主要由苏州慧闻纳米科技有限公司于2021年12月至2024年11月完成，主要研究内容包括传感器批量制造技术研究及传感器销售。根据项目任务书要求完成传感器批量制造，单次可以达到1万颗水平，实现批量封装并能批量进行测试并实现传感器元件销售数量达到2万颗芯片。实验数据测试工作由苏州慧闻于2023年11月1日至2024年11月30日完成。